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随着MEMS技术的发展，惯性传感器件在过去的几年中成为最成功,应用最广泛的微机电系统器件之一，而微加速度计（microaccelerometer）是惯性传感器件的杰出代表。微加速度计的理论基础是牛顿第二定律，根据基本的物理原理，在一个系统内部，速度是无法测量的，...

为避免使用昂贵的同步辐射光，可用近紫外光作为光刻时的替代光源，用一种类似于LIGA技术的工艺，也能加工有较大高、宽比的三维微结构。其中有紫外光(uv)LIGA、深层离子体刻蚀、激光(Laser)LIGA等。 准LIGA技术的工艺过程：1)在硅衬底上用溅射法形成一层钨化...

MEMS技术最早由Richard Pfeynman（1965年获得诺贝尔物理奖），在1959年提出设想。1962年硅微型压力传感器问世。 1979年Roylance和Angell开始压阻式微加速计的研制。1991年Cole开始电容式微加速度计的研制。 惯性传感器包括加速度计（或加速度传感计）和角速...

Holst Centre，一家专注为无线自治传感器方案开发共用性技术的研发机构，已经开发一套新能量收集应用，可生成高达 85 微瓦的功率。这种压电式能量收集采用微机电系统 (MEMS) - 可结合机械件、感应器、螺线管和电子器件的小硅芯片。 MEMS 在过去几十年被用于...

近来，惠普及其新的MEMS(micro-electro-mechanical system，微机电系统)加速器逐渐成为人们关注的焦点，这其实是在向硅谷传达着一个非常重要的讯息。 这讯息便是，MEMS技术实际上已经在生根发芽，很可能成为我们当前的所谓绿色科技之后，下一波高科技风险投...

MEMS产业的特点是可以针对不同种类的应用采用高度多样化、非标准化的工艺，而进入不同的市...

微机电系统(MEMS)技术已有20年的发展历史。各种MEMS器件在各个产业领域的应用前景十分广阔，对各种产品性能也有巨大的影响。这种器件正以其优异的性能／价格比不断扩大在各个领域的应用。 MEMS器件集电子电路与机械功能于一体，目前已制造出用于惯性检测、压...

MEMS开关就是MEMS技术的具体应用。顾名思义,开关就是来控制电路通断状况的，高效、快速反应、准确、重复使用频率、高可靠性是现代电路系统对开关的特殊要求。MEMS开关的研究始于1979年IBM的K.E.Peterson，随后经过了二十几年的发展，由于薄膜的柔软和变形，M...

MEMS加速度计的核心，一部分位于电子电路中，一部分在于机械结构中。经过制造和封装的加速度计可以用来测量单个平面或两个/三个正交平面中的加速度。从概念上讲，加速度传感部分通常包含位于悬梁一端的运动块。 对处于加速状态的多个运动块和横梁系统进行偏...

在ADI公司的一间会议室中，Howard Wisniowski用一只手拿起比纪念邮票稍大一点的演示板，并停留在离桌面一米左右的空中。这块演示板上安装有ADI的运动传感器和相关电路。Wisniowski松开拿着这块演示板的手，使演示板落向另外一只手。 演示板刚开始自由下落，...